ドライポリッシュ

ドライポリッシュ ― Dry Polishing

◇ ケミカルフリーのドライポリッシュによるストレスリリーフが可能になります。
◇ 抗折強度が向上します。

・研削加工との組み合わせにより仕上げ厚みの
バリエーションが豊富。
・研削歪を完全に除去した鏡面仕上げ。
・薄型化ウエハの抗折強度が飛躍的に向上。
・薄型ウエハの反り抑止効果。
・化学薬品はつかいません。

評価用データ
※ドライポリッシュ後の面粗度測定は扱っておりません。